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MKS流量計的詳細介紹及選型指南
MKS流量計的詳細介紹及選型指南
更新時間:2014-02-25 點擊次數:5461
美國MKS INSTRUMENTS產品起源于壓力測量和控制核心技術,延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術,其產品廣泛地應用于各種半導體生產設備和制造過程中。
MKS流量計
是一種全金屬流量計,適用于各種氣體流量測量,模擬輸出精度為滿量程1%。全金屬的179A可滿足您的各種電氣和機械配置需求,包括卡邊緣和電器連接。模擬信號接口有9針和15針,數據接口有S-485和1/4compression。氣管接口有VCR和VCO。
MKS流量計
以單位時間內壓力體積的流量方式來控制氣體質量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應用在半導體行業,鍍膜玻璃,醫藥制藥行業,生物工程行業,適合各種氣體媒介,常用的有氧氣,氫氣,氮氣,氯化氫氣體,氨氣,SICL4硅烷氣體等。
MKS流量計
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