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瑞士inficon電容式膜片真空計的優點與應用
瑞士inficon電容式膜片真空計的優點與應用
更新時間:2016-09-26 點擊次數:1890
瑞士inficon電容式膜片真空計的優點與應用
擁有成本更低,預熱速度快 50%,節能,低功耗
易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點
輕松一鍵調零或遠程信號調零指令,可調零點偏移
診斷端口用于快速維修和維護
兩年保修服務,加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
的信號穩定性和可重復性,即使是zui苛刻的等離子應用,都無需長期執行重新校準
合規性與標準: CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程
化學和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護的一般薄膜和真空過程
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