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真空系統常用名稱
真空系統常用名稱
更新時間:2016-09-26 點擊次數:1756
真空系統
常用名稱
(1)主泵:在真空系統中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
(2)前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。
(3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵,就是粗油泵。
(4)維持泵:在真空系統中,氣量很小時,不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵,就是維持泵。
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