真空規(guī)管一般是裝在真空鍍膜室的位置，是指電離規(guī)管，玻璃管端部用老虎鉗夾破一點(diǎn)，插進(jìn)真空室密封好，必須大氣狀態(tài)完成。（還有電阻規(guī)它是測(cè)粗真空的，這種沒(méi)有規(guī)管，就一個(gè)傳感器）用來(lái)監(jiān)測(cè)真空度的，，電離規(guī)開(kāi)啟一般是有要求的，當(dāng)壓強(qiáng)到3PA以下才開(kāi)真空，可設(shè)置壓強(qiáng)參數(shù)，到了會(huì)自動(dòng)開(kāi)，過(guò)早開(kāi)會(huì)氧化電離規(guī)，導(dǎo)致燒壞